深圳新聞網(wǎng)2025年10月18日訊（記者 李豫軍）10月15日，2025灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會（灣芯展）在深圳會展中心（福田）盛大啟幕。在這場匯聚600余家全球半導(dǎo)體領(lǐng)軍企業(yè)的行業(yè)盛會上，國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺（簡稱“深圳綜合平臺”）攜多項核心技術(shù)成果驚艷亮相，以“開放共享”之姿，為破解產(chǎn)業(yè)“卡脖子”難題注入強勁動能。

技術(shù)成果發(fā)布：不只是領(lǐng)先，更是“破局”

功率半導(dǎo)體是現(xiàn)代電力電子器件、射頻器件的“核心潛力股”，尤其在高壓、高頻、大功率場景中不可或缺。從碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）到氧化鎵、金剛石等超寬禁帶材料，半導(dǎo)體技術(shù)正不斷突破天花板。

深圳綜合平臺作為全球首個集科研與中試于一體的8吋先進功率半導(dǎo)體開放共享平臺，已構(gòu)建從研發(fā)到產(chǎn)業(yè)化的全鏈條能力，設(shè)立四大中心，服務(wù)超30家合作伙伴、10家中試客戶、45家檢測客戶，并與8所高校開展科研合作或共建聯(lián)合實習(xí)基地。

2025年，平臺完成技術(shù)平臺1.0，實現(xiàn)多項關(guān)鍵技術(shù)突破：

襯底加工：率先實現(xiàn)碳化硅激光剝離技術(shù)，8吋單片總損耗＜75μm，切割時間≤20分鐘，成本降低26%，整體性能達到國際領(lǐng)先水平。

碳化硅外延：突破200μm超厚膜缺陷控制技術(shù)，并在商用4°偏角襯底上首次實現(xiàn)3C-SiC高質(zhì)量外延生長，為解決柵氧遷移率難題開辟新路徑。

1200V SiC平面柵與溝槽柵：突破超窄元胞結(jié)構(gòu)、超高深寬比工藝等關(guān)鍵技術(shù)，器件性能達到業(yè)界先進水平，并構(gòu)建全流程自主可控8英寸溝槽柵工藝平臺。

GaN外延與器件：高壓1200V外延達到國際先進水平，面向車規(guī)應(yīng)用；低壓15-40V外延突破選區(qū)二次外延技術(shù)，為AI供電芯片掃清障礙。

全系GaN器件平臺：在25V至650V電壓范圍實現(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先，關(guān)鍵技術(shù)全面突破。

平臺還自研業(yè)界首臺多功能超寬禁帶材料表征系統(tǒng)，并基于國產(chǎn)材料制備出國內(nèi)首個氮化鋁/富鋁鎵氮HMET器件。同時，自主仿真設(shè)計平臺與PDK 0.5版本也已上線，為芯片設(shè)計企業(yè)提供堅實支撐。

未來，平臺進一步提升功率密度和器件可靠性，同時在第四代器件方面取得突破，如推出GaN/SiC混合場效應(yīng)晶體管、SiC 20kV IGBT等。

生態(tài)共建：14家伙伴簽約，EDA平臺正式啟用

獨行快，眾行遠。展會期間，深圳綜合平臺與14家產(chǎn)業(yè)鏈伙伴完成合作簽約，覆蓋材料、器件、工藝與應(yīng)用全環(huán)節(jié)，推動技術(shù)成果加速落地。

同時，在國創(chuàng)中心總部指導(dǎo)下，國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心EDA設(shè)計公共平臺正式揭牌啟用。該平臺將直面設(shè)計與流片驗證的“卡點”，助力客戶基于國產(chǎn)EDA工具與中試線完成芯片驗證，打造自主可控的設(shè)計仿真支撐體系。

國產(chǎn)裝備集體亮相：123臺設(shè)備完成驗證，16臺為首臺套

在國產(chǎn)化進程中，深圳綜合平臺攜手北京北方華創(chuàng)、大族半導(dǎo)體、上海精測等13家國產(chǎn)設(shè)備商，共同點亮16臺國產(chǎn)首臺（套）設(shè)備標(biāo)識，標(biāo)志著8吋寬禁帶半導(dǎo)體國產(chǎn)工藝設(shè)備驗證成果正式發(fā)布。

截至目前，平臺已完成123臺套國產(chǎn)設(shè)備的驗證與熟化，其中16臺為細(xì)分領(lǐng)域首臺套，關(guān)鍵材料國產(chǎn)化驗證率高達96%，有力推動產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。

開放共享，共創(chuàng)“芯”未來

此次灣芯展之行，深圳綜合平臺不僅展示了技術(shù)平臺1.0的硬核實力，更通過EDA平臺啟用、國產(chǎn)設(shè)備驗證、PDK/MPW發(fā)布等舉措，彰顯其推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控與高質(zhì)量發(fā)展的決心。未來，平臺將繼續(xù)秉持開放理念，與全球伙伴攜手，共創(chuàng)半導(dǎo)體新未來。